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Conception et optimisation d’un nouveau procédé d’inspection de substrats transparents par champ sombre laser Doppler (Document en Français)
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  • https://thares.univ-grenoble-alpes.fr/2016GREAT119.pdfLien brisé : nonDroits d'accès : non autorisé
Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse confidentielle jusqu'au 08/01/2018.
  • Thèse soumise à l'embargo de l'auteur : embargo illimité (communication intranet).
 
Informations sur les contributeurs
Auteur : Durand de gevigney Mayeul
Durand de gevigney, Mayeul
Nom
Durand de gevigney
Prénom
Mayeul
Nationalité
Français

Date de soutenance : 08-07-2016

Directeur(s) de thèse : Benech Pierre
Benech, Pierre
Nom
Benech
Prénom
Pierre


Etablissement de soutenance : Université Grenoble Alpes (ComUE)
Université Grenoble Alpes (ComUE)
Nom
Université Grenoble Alpes (ComUE)

Laboratoire : Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (Grenoble, Isère, France ; Chambéry ; 2007-....)
Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (Grenoble, Isère, France ; Chambéry ; 2007-....)
Nom
Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (Grenoble, Isère, France ; Chambéry ; 2007-....)

Ecole doctorale : École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)
École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)
Nom
École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)

  
Informations générales
Discipline : Optique et radio fréquence
Classification : Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres : Semiconducteur, Inspection, Transparent, Doppler, Substrat, Microélectronique
Mots-clés :
  • Vélocimétrie laser Doppler
  • Semiconducteurs
  • Silicium -- Substrats
Résumé : Dans le domaine du semi-conducteur, il est nécessaire de pouvoir détecter et identifier les défauts présents sur les substrats sur lesquels sont produits les systèmes micro-électroniques. Ainsi, un grand effort est fait depuis des décennies pour développer des solutions toujours plus rapide et sensibles pour repérer en amont les potentiels défauts tueurs. Alors que ces besoins d’une inspection rapide et sensible sont très bien couverts dans le cas de l’inspection de substrats opaques, les méthodes et technologies pour l’inspection efficace de substrats transparents restent soit très lentes, soit peu performantes. La grande problématique de l’inspection de substrats transparents est de pouvoir détecter de petits défauts, typiquement de l’ordre de la centaine de nanomètre, tout en pouvant garantir sa localisation en face avant. Dans ce cadre, les technologies actuelles s’appuient uniquement sur la différence d’amplitude pour différencier des défauts venant de la face avant de ceux venant de la face arrière. Cela engendre des problèmes si les défauts en face arrière sont gros et signe avec une forte amplitude, car cela implique soit des fausses détections en face avant, soit une baisse de sensibilité. Nous avons développé dans cette thèse une méthode permettant à la fois de détecter les défauts sur des substrats transparents, mais également de les situer sans ambiguïté sur la face avant du substrat. Pour ce faire, nous utilisons une détection Doppler hétérodyne, qui consiste en la création à l’aide d’un Vélocimètre laser à effet Doppler d’un volume de mesure constitué de franges d’interférences situées à la surface du substrat à inspecter. Ainsi, tout défaut en face avant va présenter une fréquence caractéristique qui dépend uniquement de l’interfrange du volume de mesure et de la vitesse de passage du défaut qui est connue lors de l’inspection. Tout défaut qui se situerait en dehors de ce volume de mesure, par exemple en face arrière présentera une réponse en amplitude, sans pour autant présenter la fréquence Doppler caractéristique, il est ainsi facilement filtré. Dans le cadre de ce travail, nous avons réussi à faire la preuve de concept de notre système, qui permet à la fois une inspection d’une sensibilité de 110nm sur substrats transparents et permettant une discrimination sans ambiguïté entre les faces avant et arrière des substrats transparents. Une méthode de mesure de taille reposant sur la théorie de W.M. Farmer a également été testée et a montré des résultats très prometteurs. Enfin, une comparaison de notre méthode de mesure avec un outil faisant référence pour l’inspection de substrats transparents a prouvée la supériorité de notre méthode tant d’un point de vue de la sensibilité que de la fiabilité des mesures.
  
Informations techniques
Type de contenu : Text
Format : PDF
  
Informations complémentaires
Entrepôt d'origine : STAR : dépôt national des thèses électroniques françaises
Identifiant : 2016GREAT119
Type de ressource : Thèse
À propos Aide
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