Assas Recherche | Caractérisation et modélisation de la fiabilité relative au piégeage dans des transistors décananométriques et des mémoires SRAM en technologie FDSOI

Caractérisation et modélisation de la fiabilité relative au piégeage dans des transistors décananométriques et des mémoires SRAM en technologie FDSOI (Document en Français)

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Modalités de diffusion de la thèse :

Thèse consultable sur internet, en texte intégral.

Informations sur les contributeurs

Auteur : Subirats Alexandre

Subirats, Alexandre

Nom

Subirats

Prénom

Alexandre

Nationalité

Français

Date de soutenance : 30-01-2015

Directeur(s) de thèse : Ghibaudo Gérard

Ghibaudo, Gérard

Nom

Ghibaudo

Prénom

Gérard

- Garros Xavier

Garros, Xavier

Nom

Garros

Prénom

Xavier

Etablissement de soutenance : Université Grenoble Alpes (ComUE)

Université Grenoble Alpes (ComUE)

Nom

Université Grenoble Alpes (ComUE)

Laboratoire : Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (Grenoble, Isère, France ; Chambéry ; 2007-....)

Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (Grenoble, Isère, France ; Chambéry ; 2007-....)

Nom

Centre de radiofréquences, optique et micro-nanoélectronique des Alpes (Grenoble, Isère, France ; Chambéry ; 2007-....)

- Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information (Grenoble, Isère, France ; 1967-....)

Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information (Grenoble, Isère, France ; 1967-....)

Nom

Laboratoire d'électronique et de technologie de l'information (Grenoble, Isère, France ; 1967-....)

Ecole doctorale : École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)

École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)

Nom

École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble ; 199.-....)

Informations générales

Discipline : Nanoélectronique et nanotechnologie
Classification : Sciences de l'ingénieur

Mots-clés libres : Microélectronique, FDSOI, Variabilité, BTI, Caractérisation électrique, Modélisation
Mots-clés :

Microélectronique

Résumé : L’industrie microélectronique arrive aujourd’hui à concevoir des transistors atteignant quelquesdizaines de nanomètres. A de telles dimensions, les problématiques de fiabilité et de variabilité des dispositifsprennent une ampleur toujours plus importante. Notamment, le couplage de ces deux difficultés nécessite uneétude approfondie pour garantir des estimations correctes de la durée de vie des dispositifs. Aujourd’hui, ladégradation BTI (pour Bias Temperature Instability), due principalement aux mécanismes de piégeage dansl’oxyde de grille, apparait comme étant la principale source de dégradation responsable du vieillissement destransistors. Ce manuscrit présente une étude complète de la dégradation BTI intervenant sur des transistors depetites et grandes dimensions et sur des cellules mémoires SRAM (pour Static Random Access Memory). Dansun premier temps, une présentation des différentes méthodes de caractérisations rapides permettant demesurer correctement cette dégradation est faite. L’importance de l’utilisation de techniques de mesuresrapides afin de limiter les effets de relaxation qui succèdent à la dégradation BTI est clairement exposée. Puis, àl’aide de ces techniques de mesures, une étude exclusivement consacrée à la caractérisation et la modélisationde la dégradation NBTI (pour Negative BTI) sur des dispositifs de grandes dimensions est réalisée. Ensuite, lemanuscrit se focalise sur la dégradation intervenant dans des dispositifs de petites dimensions : transistors etcellules mémoires. Tout d’abord, une modélisation des phénomènes de piégeages dans l’oxyde de grille depetits transistors est effectuée. En particulier, des simulations 3D électrostatiques ont permis d’expliquerl’influence des pièges d’oxyde sur la tension de seuil (VT) dans des transistors décananométriques. Enfin, uneétude de la fiabilité de cellules SRAM est présentée. Notamment, nous montrons comment évoluent lesperformances et le fonctionnement des cellules lorsque les transistors qui les constituent sont affectés par unedégradation BTI.

Informations techniques

Type de contenu : Text
Format : PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine :

STAR : dépôt national des thèses électroniques françaises

Identifiant : 2015GREAT003
Type de ressource : Thèse