Assas Recherche | Contribution à l'élaboration de capteurs sans-fil, opérant à très haute température (500-1000º), à base de dispositifs à ondes élastiques de surface : choix des matériaux constitutifs

Contribution à l'élaboration de capteurs sans-fil, opérant à très haute température (500-1000º), à base de dispositifs à ondes élastiques de surface : choix des matériaux constitutifs (Document en Français)

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Modalités de diffusion de la thèse :

Thèse consultable sur internet, en texte intégral.

Informations sur les contributeurs

Auteur : Aubert Thierry

Aubert, Thierry

Nom

Aubert

Prénom

Thierry

Nationalité

Français

Date de soutenance : 04-11-2010

Directeur(s) de thèse : Elmazria Omar

Elmazria, Omar

Nom

Elmazria

Prénom

Omar

Etablissement de soutenance : Nancy 1

Nancy 1

Nom

Nancy 1

Laboratoire : IJL - Institut Jean Lamour - UMR 7198

IJL - Institut Jean Lamour - UMR 7198

Nom

IJL - Institut Jean Lamour - UMR 7198

Ecole doctorale : EMMA - Ecole Doctorale Energie - Mécanique - Matériaux

EMMA - Ecole Doctorale Energie - Mécanique - Matériaux

Nom

EMMA - Ecole Doctorale Energie - Mécanique - Matériaux

Informations générales

Discipline : Physique
Classification : Physique

Mots-clés libres : Saw, Haute température, Capteur, Platine, Tantale, Iridium, Langasite, AlN, Saphir, Pulvérisation
Mots-clés :

Capteurs (technologie) - Effets des hautes températures
Capteurs (technologie) - Construction
Ondes élastiques

Résumé : Éléments essentiels des systèmes de télécommunication depuis environ trente ans, les dispositifs à ondes élastiques de surface offrent également l'opportunité, de par leur sensibilité aux conditions environnementales et leur caractère passif, de réaliser des capteurs sans-fil autonomes (sans électronique ni source d'énergie embarquées), configuration particulièrement intéressante pour la mesure à haute température. Nos travaux se sont focalisés sur le choix des matériaux pouvant constituer de tels capteurs, au niveau des deux éléments les constituant : le substrat piézoélectrique et les électrodes métalliques. Ces dernières sont généralement constituées de platine, de par l'inertie chimique particulièrement importante de ce métal noble. Nos travaux nous ont permis d'attribuer la dégradation de ces électrodes, généralement observée aux alentours de 700°C, à un phénomène spécifique des films minces, dénommé agglomération, nous conduisant par la suite à envisager et à tester des solutions plus efficaces. En ce qui concerne le substrat, nos efforts ont porté sur la structure bicouche AlN/Saphir, prometteuse pour de telles applications, mais encore peu étudiée. Après l'optimisation des paramètres de dépôt du film mince par pulvérisation réactive magnétron, permettant d'obtenir une couche épitaxiée, nous nous sommes intéressés à la résistance à l'oxydation de l'AlN à haute température dans l'air. L'utilisation croisée de la diffraction des rayons X, de l'ellipsométrie et de la spectroscopie de masse des ions secondaires nous a permis de montrer que l'on peut envisager l'emploi de cette structure bicouche pour les applications visées à des températures allant jusqu'à 700°C

Informations techniques

Type de contenu : Text
Format : PDF

Informations complémentaires

Entrepôt d'origine :

STAR : dépôt national des thèses électroniques françaises

Identifiant : 2010NAN10114
Type de ressource : Thèse